DRF罗茨真空泵

应用领域

工业：医疗技术、工业检漏、电子束焊接、真空隔离、灯具灯管制造、热处理、真空干燥，冻干、真空炉，冶金工程。

研发：核子研究、融化技术、等离子体研究、粒子加速器、空间模拟、低温研究、基本粒子物理、纳米技术、生物技术。

涂层、镀膜：平板显示器、LED/OLED、硬盘涂层、光伏电池、玻璃镀层、CD-DVD-蓝光、光学镀膜、耐磨涂层。

半导体：光刻，平面印刷、物理气相沉积PVD、化学气相沉积CVD、等离子刻蚀、离子注入、光束注入、检视、粘合、分子束外延。