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单晶炉多晶炉用干式螺杆真空泵

单晶炉多晶炉用干式螺杆真空泵

功  率:2+4.5kw

抽气速率:630/756

压  力:极限真空0.1pa

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单晶炉与多晶炉用干式螺杆真空泵的特点:

·无油气污染真空系统,可获得清洁真空
·配置单晶硅与多晶炉专用过滤器,减少硅粉吸入真空泵
·被抽气体不会被污染,尾气可进行回收利用
·无油气和油烟等有害气体的排放,环境污染小
·避免了因泵腔内润滑油乳化、变质而出现的运行故障,提高了系统的稳定性,同时减少了泵润滑油的损耗
·泵可单独使用,或者与罗茨泵、分子泵等组合成无油真空机组,作为机组的前级泵使用。单泵进气压力在 1Pa 至大气
 压均能正常工作,抽气效率高,可大大简化抽真空系统
·泵腔内各相对运动零件之间采用间隙密封,零件间无接触摩擦存在,零件损耗小,使用寿命长
·泵腔内采用间隙密封,对少量小颗粒粉尘不敏感
·整机体积小,减少占地面积
·消耗功率更低,节能效果好
·运行噪声低

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