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单晶炉用干式螺杆真空泵组

单晶炉用干式螺杆真空泵组

功  率:3+4.5 kW

抽气速率:630/756 m³/h

压  力:≤0.2/≤0.1 Pa

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性能优势 Performance Advantages

 

· 无油气污染工艺设备,可获得清洁零件表面;

· 被抽气体不会被污染,为期可进行回收利用;

· 无油气、油烟等有害气体排放,有利于环境保护;

· 避免因泵腔内润滑油乳化、变质而出现的运行故障,提高了系统的稳定性;

· 可单独使用,进气压力在1Pa至大气压下均能正常工作,抽气效率高,可大幅度简化真空系统;

· 机组可作为前级泵使用,与罗茨泵、分子泵等组合成多级无油真空机组,以获得更大与更高的真空度;

· 转子间无接触、无磨损,零件损耗小,使用寿命长;

· 泵腔内采用间隙密封,对少量粉尘不敏感;

· 智能控制模式,实时监测设备运行状态,并针对异常情况做出报警;

· 模块化设计,整机体积小,方便移动;

· 可变频运行,节能效果好;

· 采用一体化水冷电机设计,运行噪音低,震动小;

 

 

 

 

机组内容  Unit Content



 
 
技术参数  Technical parameter
技术参数

应用行业 Application Industry

☆  化工                                                                                                                  ☆  光伏

☆  制药                                                                                                                  ☆  汽车

☆  锂电池                                                                                                              ☆  香料

☆  冶金                                                                                                                  ☆  航空航天

☆  镀膜                                                                                                                  ☆  科研院所

☆  新能源                                                                                                              ☆  半导体

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