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客户案例
Customer Cases

德清华莹

机器类型
干式螺杆真空泵+水环泵
使用行业
半导体
机器型号
DSV800、DSV1080、2BE1-252
项目地区
浙江省 湖州市

  作为专业的电子材料及元器件制造商,德清华莹在半导体封装、光电元件镀膜等核心工序中,对真空环境的稳定性和洁净度有着极高要求。真空度的精准控制直接影响材料结合强度与产品性能一致性。

  经过技术论证与实地测试,德清华莹引入德耐尔干式螺杆真空泵与水环泵组成复合真空系统。干式螺杆真空泵采用无油密封技术,可实现极限真空度,且排气洁净无油污,完美适配芯片键合工序的高洁净要求,避免油蒸气污染晶圆表面。​

  水环泵则凭借大抽速优势,快速建立基础真空环境,与干式螺杆真空泵形成接力运行模式,抽气效率大大提升。这套组合设备搭载智能压力控制系统,真空度波动可控制,保障镀膜厚度均匀性。​

  设备投用后,德清华莹半导体封装良率提升,镀膜工序生产效率得到大幅提高,设备维护成本大大降低。德耐尔真空设备的稳定运行,为其精密电子元件的高品质生产提供了可靠真空保障,助力在高端电子材料领域持续突破。​

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