作为半导体材料及设备领域的领军企业，晶盛半导体在单晶硅生长、晶圆切割等超精密工序中，对压缩空气的洁净度、压力稳定性提出了纳米级要求。气源品质直接关系到半导体材料的纯度与器件性能。
经过多轮严苛测试，晶盛半导体引入德耐尔 DAV-75、DAVW-30 及 DAVW-75 三款空压机组成气源系统。DAV-75 作为主力机型，搭载七级精密过滤系统，完美适配单晶硅炉的气动控制系统，避免杂质污染晶体生长环境。
DAVW-30 以紧凑设计服务于晶圆检测车间，其超低振动运行保障精密仪器的测量精度;DAVW-75 则为光刻工序提供恒压气源，确保光刻图案分辨率。三款设备均采用全封闭隔音设计，运行下降，适配洁净车间环境。
设备投用后，晶盛半导体单晶硅成品率有效提升，气源系统能耗降低，为高端半导体材料量产提供了坚实保障。
