雅克科技作为电子材料领域标杆企业,其半导体级特种气体生产对压缩系统提出三重挑战:气体介质的高活性特质要求绝对零泄漏、精密合成工艺需要0.1bar级压力稳定、多产线并联时需应对脉冲式用气需求。
技术应答方案
德耐尔定制"双90+30"组合:
DAV-90×2组成冗余主机,专利转子型线设计实现98%无波动供气
DA-30作为弹性单元,智能联控系统使其自动响应突发用气需求
全系采用不锈钢流道与特种密封,杜绝电子级气体污染风险
价值链突破
方案实施后:
气体纯度提升至6N级(99.9999%)
单位产能能耗下降22%
创造连续安全运行新纪录