瞩日能源作为钙钛矿光伏组件制造商,其真空镀膜工序对设备抽速和极限真空度有着特殊要求。在制备电子传输层时,需要维持10^-3Pa级的高真空环境来保证薄膜均匀性,同时应对不同镀膜腔体之间的快速切换需求。
技术适配
德耐尔为其配置DPX系列干式螺杆真空泵组合方案。
DPX300匹配主镀膜线300立方米每小时的超大抽速,采用双螺杆转子设计实现无油蒸汽抽除;
DPX200则专供研发中试线,其变频控制技术可精准匹配不同镀膜工艺的真空曲线。
两台设备均通过ISO8573-1零级认证,独特的防结晶设计有效应对有机金属前驱体的沉积问题。
成效表现
系统投用后组件光电转换效率波动范围缩小40%,镀膜成品率提升至行业领先水平。相比原系统能耗降低约25%,设备智能联锁功能更实现与进口镀膜机的毫秒级响应配合。其模块化结构为未来TOPCon技术路线升级预留了真空系统改造空间。