无油涡旋真空泵

工作原理  Working Principle

无油涡旋真空泵优泵头、电机、机座等构成。泵头含动、定涡旋盘，曲轴，密封件，风扇和泵壳等。涡旋盘由原型平面和其上渗出的一条或者几条渐开线螺旋盘壁组成，定涡旋盘和动涡旋盘的组成涡旋盘复构成无油涡旋真空泵的基础抽气机构。工作过程中动、定涡旋盘无接触，依靠相对运行形容积不断缩小的新月形压缩腔，通过吸气，压缩，排气的循环，使气体从抽气口吸入，排气口排出，实现对被抽腔体抽真空。

性能优势 Performance Advantages

· 抽速：4m³/h到604m³/h；

· 高真空：极限真空可达到1Pa；

· 全无油：不返油，不喷油；

· 启停：能在大气压和真空之间频繁启动和关闭；

· 安静：低噪音，低震动；

· 小巧：体积小，重量轻；

行业应用  Application Industry

广泛应用于材料、光伏、食品、医药、医疗、能源工业、航空航天、检查分析、半导体等行业。